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薄膜技術緒論ppt課件(編輯修改稿)

2026-05-30 06:00 本頁面

　

【文章內容簡介】性。薄膜科學的應用金剛石薄膜的應用（ 1）力學性質的應用利用其高硬度、高耐磨性。焊接在工具尖端或直接沉積在工具的表面，提高工具的使用壽命物理性質天然金剛石 CVD金剛石薄膜硬度 /GPa 100① 90～ 100 楊氏模量 /GPa 1200① 接近天然金剛石溫度熱導率 /W(cmK)1 20① 10～ 20 縱波聲速 /kms1 18① 密度 /gcm3 ～折射率 (590nm) 禁帶寬度 /eV 透光范圍 /nm 225遠紅外接近天然金剛石電阻率 /Ωcm 1016 1010 介電強度 /Vcm1 1017 電子遷移率 /cm2(Vs)1 2200① 空穴遷移率 / cm2(Vs)1 1600② 介電常數飽和電子速度 /cms1 107 ①在所有已知物質中為最高值；②在已知所有物質中列第二金剛石的物理性質（ 2）熱學性質的應用利用其極高的熱導率。室溫下，金剛石的熱導率是銅的 5倍。本身又是極好的絕緣材料。因此，金剛石薄膜可用于高功率光電子元件、激光器、集成電路芯片的散熱器材料。（ 3）電學性質的應用利用其高載流子遷移率、寬禁帶寬度、高擊穿場強、高熱導率和高飽和運動速度等優點。使之成為制造高溫、高壓、高功率和高頻強輻射條件下工作的電子器件的絕好材料。另外，利用金剛石膜制備的聲表面波器件使得工作頻率范圍大大增加；金剛石膜也是很好的光學窗口材料。薄膜科學的應用集成電路工藝中，氧化、涂膠等都涉及到了薄膜材料的制備問題。其它的分離器件，如發光二極管、異質結激光器、超晶格與量子阱結構薄膜磁頭、只讀（ ROM）光盤、一次寫入（ WORM）式光盤、可擦重寫（ EDRAW)式光盤、直接重寫式光盤薄膜科學的應用在信息顯示技術中的應用薄膜科學的應用在信息顯示技術中的應用薄膜科學的應用在信息存貯技術中的應用薄膜科學的應用在日常生活中的應用薄膜科學的應用在計算機技術中的應用薄膜科學的應用在計算機技術中的應用薄膜科學的應用薄膜的分類薄膜在當今和未來都擁有十分廣泛的應用領域，尤其是微電子和光電子領域。按功能和應用領域分類： ? 電子薄膜 ? 光學薄膜 ? 硬質薄膜、耐蝕薄膜、潤滑薄膜 ? 裝飾薄膜 ? 包裝薄膜 ? 生物薄膜 ? 其它薄膜的分類電子薄膜： ? 半導體器件與集成電路中使用的導電和介電材料薄膜 ? 超導薄膜 ? 光電子器件中使用的功能薄膜 ? 薄膜敏感元件和固態傳感器薄膜 ? 薄膜電阻 ? 薄膜太陽能電池 ? 平板顯示器件 ? 薄膜聲表面波濾波器 ? 磁記錄薄膜和薄膜磁頭 ? 靜電復印機磁鼓薄膜薄膜的分類光學薄膜： ? 減反膜 ? 反射膜 ? 分光鏡和濾光片薄膜 ? 鍍膜玻璃 ? 光盤存儲介質薄

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