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大學物理薄膜干涉(編輯修改稿)

2026-07-16 12:21 本頁面

　

【文章內容簡介】 nS MgF2 H L ZnS MgF2 在玻璃上交替鍍上光學厚度均為 ?/4的高折射率 ZnS膜和低折射率的 MgF2膜，形成多層高反射膜。 1n1nnS M DTL劈尖角 ? 1nn ??2 劈尖 22Δ ne ????Δ?,2,1, ?kk ? 明紋 ?,1,0,2)12( ?? kk ?暗紋 be?Ln1nD劈尖干涉 nn ?1e?nk 2)21( ??nk 2?（明紋）（暗紋） bb2/n?討論 1）劈尖 2??Δ0e ?為暗紋 . LnbLbD n22?? ??3）條紋間距（明紋或暗紋） ??nb 2?1 22niiee n??? ? ? ?2）相鄰明紋（暗紋）間的厚度差 LD??bn 2?? ??Ln1nD劈尖干涉 nn ?12/n?bb 每一條紋對應劈尖內的一個厚度，當此厚度位置改變時，對應的條紋隨之移動 . 4 ）干涉條紋的移動 Ln?b 例 3 有一玻璃劈尖 , 放在空氣中 , 劈尖夾角 r a d108 5???? , 用波長的單色光垂直入射時 , 測得干涉條紋的寬度 , 求這玻璃的折射率 . nm589???b解 nbbn22??? ???357??????????nbn??2??2）測膜厚 ise1n2n2ios1）干涉膨脹儀 0l 劈尖干涉的應用 12 nNe ??l?2?Nl ??1nn1nLd空氣 1?ne? 3）檢驗光學元件表面的平整度 2aeb???ba4）測細絲的直徑 bLnd ??2?b 例 4 在半導體元件生產中，為了測定硅片上 SiO2薄膜的厚度，將該膜的一端腐蝕成劈尖狀，已知 SiO2 的折射率 n =，用波長 ? =5893埃的鈉光照射后，觀察到劈尖上出現 9條暗紋，且第 9條在劈尖斜坡上端點M處， Si的折射率為。試求 SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解：由暗紋條件 e = (2k+1)? /4n ?= 2ne = (2

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