多晶硅安全技術規范(編輯修改稿)

　

【文章內容簡介】 檢查和維修的扶梯、平臺、圍欄和系掛裝置等附屬設施。 扶梯、平臺和欄桿的設置應符合 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 1 部分：鋼直梯）、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 2 部分：鋼斜梯）、 GB 固定式鋼梯及平臺安全要求（第 3部分：工業防護欄桿及鋼平臺） 的要求。 存在易燃易爆場所的建構筑物，其設計應符合防火等級要求，所配置的鋼質扶梯、平臺等應覆蓋耐火層。涂有耐火層的構件 ，其耐火極限時間不應低于 。當耐火層選用防火涂料時，應采用有利于防烴類火災的防火涂料。 工業管道安全 工業金屬管道的材料、組成件的選用、布置應符合 GB 503162020《工業金屬管道設計規范》的要求。管道布置應滿足便于生產操作、安裝和維修的要求，采用架空敷設，規劃有序、布局整齊。輸送易燃易爆流體的管道不應布置在室內的吊頂內及建構筑物封閉的夾層內。 工業管道應涂識別色（水管道識別色為艷綠色、水蒸氣管道識別色為大紅色、可燃液體管道識別色為棕色），工業管道 的識別色、識別符號、安全標識應符合 GB 72312020《工業管道的基本識別色、識別符號和安全標識》要求。 相關安全裝置 凡工藝上有放空的設備均應設放空裝置，并定期檢查其有效性。用于易燃、易爆氣體放空的安全閥及放空管，應將其導出管置于室外離地面 以上，不應將導出管置于下水道等限制性空間，以免引起爆炸。放空管應選用金屬材料，不應使用塑料管或橡皮管。其中釋放壓力大于等于 的放空管線 10 應采用不銹鋼材料。放空管上應設有阻火器，應靜電接地。管口上應有擋雨、阻雪的傘蓋。 易燃易爆液體嚴禁使用玻璃管液位計，推薦使用磁翻板液位計。 四氯化硅氫化反應器和導熱油電加熱器溫度控制裝置應有冗余設計，宜使用兩套控制儀器，并定期校驗。氫化反應器及系統中的安全附件、安全保護裝置、測量調控裝置及有關附屬儀器應完整、齊全、有效。建議： 溫度檢測元件和流量開關共同作用，確保溫度檢測示值真實性。 中高壓力電解槽、四氯化硅氫化反應器（含氫氣加熱器、硅粉干燥器）、多晶硅還原爐、液氯鋼瓶、氫氣和氯硅烷儲罐、提純系統換熱器等壓力容器屬特種設備，其安全附件、安 全保護裝置、測量調控裝置及有關附屬儀器應定期校驗、檢修、記錄。 安全標志 多晶硅企業生產作業場所應按 GB 28941996（安全標志 ）的規定設置安全標志，或在建（構）筑物及設備上按 GB 28932020《安全色》規定涂安全色。 生產作業場所的緊急通道和出入口，應設置明顯醒目的標志。生產作業區入口及其他禁止明火和產生火花的場所應有禁止煙火的安全標志。 職業危害控制 生產過程應嚴格控制粉塵、毒物的產生。存在嚴重職業危害的作業崗位應按 GBZ 1582020（工作場所職業病危害警示標識）的規定設置醒目的警示標識和中文警示標志。 有毒作業應采用無毒或低毒原料代替高毒原料。限制使用氫氟酸、硝酸。 防塵防毒 根據生產工藝和粉塵、毒物特性，采取防塵、防毒通風措施控制其擴散，使作業場所有害物質及粉塵的濃度符合 GBZ 22020（工作場所有害因素職業接觸限值）規定。多晶硅生產場所空氣中主要有毒物質及粉塵容許濃度見附件 B。 產生粉塵、可燃性氣體煙霧的作業場所，應設排毒或除塵凈 化的通風設施。通風設施應有防爆措施，風機與電機應要求防爆隔爆等級。通風空氣不應循環使用。 對于毒性危害嚴重的生產過程和設備，應設計可靠的事故處理裝置及應急防護措施。在有毒性危害的作業環境中，應設置必要的洗眼器、淋洗器等衛生防護設施，其服務半徑應小于 15m。并根據作業特點和防護要求，確定配置事故柜、急救箱或個人防護用品。 塵毒危害嚴重的廠房和倉庫等建（構）筑物的墻壁、頂棚和地面均應光滑，便于清掃，必要時設計防火、防腐等特殊保護層及專門清掃設施，以便清洗。 防噪聲 應從聲源上控制生產過程和設備噪聲，以低噪聲的工藝和設備代替高噪聲的工藝和設備。 生產過程和設備的噪聲應采取隔聲、消聲、隔振及管理等綜合措施，使操作人員每天連續 8h 接觸的噪聲不大于 85dB（ A）。作業場所噪聲聲級的衛生限值，應符合國家標準 GBZ 12020（工業企業設計衛生標準）要求。 11 防高溫防寒 當室內作業地點氣溫等于或大于 37℃時應采取局部降溫和防暑措施，并應減少接觸時間。在炎熱季節對高溫作業的工人應供應含鹽清 涼飲料（含鹽量為 %～ %）。 當室內作業地點溫度近十年最冷月平均溫度等于或小于 8℃的月份連續三個月以上的，應設置采暖設施，設置采暖設施應符合 GB500162020（建筑設計防火規范）第 節的要求。甲、乙類廠房和甲、乙類倉庫內不應采用明火和電熱散熱器采暖。下列廠房應采用不循環使用的熱風采暖： a ) 生產過程中散發的可燃氣體、可燃蒸氣、可燃粉塵、可燃纖維與采暖管道、散熱器表面接觸能引起燃燒的廠房； b ) 生產過程中散發的粉塵受到水、水蒸汽的作用能引起自燃、爆炸，以及容 易積聚爆炸性氣體的廠房。 防護用品管理 對作業人員應采取個人防護措施，配備專用的勞動防護用品。易燃易爆場所作業人員應配用棉布工作服、防靜電鞋、防毒口罩、工作手套等。不同崗位作業人員配用勞動防護用品及勞動防護用品質量性能應符合 GB/T 116511989（勞動防護用品選用規則）的要求。 作業場所應正確穿戴勞動防護用品，工作結束后應更換工作服，清洗后方可離開作業場所。不應在生產作業場所飲食。 生產作業場所應配備呼吸防護器以及其他應急防 護用品。呼吸防護器配備應符合 GB/T 186642020（呼吸防護用品的選擇、使用與維護）的要求。 過程自動控制設計安全要求 系統 DCS 的操作站、控制器、通訊總線、 I/O 卡件等應按 1： 1 冗余配置。 提純塔、三氯氫硅氣化裝置、還原尾氣壓縮機、氫化反應器等重要設備應根據其內部物料的火災危險性和操作條件設置相應的儀表報警訊號，自動聯鎖保護系統或緊急停車系統。 多晶硅生產裝置中，采用 DCS、 PLC 等執行監控的生產裝置儀表電源應采用不間斷電源，其后備電池供電時 間： 15min30min 氫氣壓縮機房、還原爐室、氯硅烷儲罐區等的 2 區內及附加 2 區內，應設置可燃氣體檢測報警儀。氯硅烷罐區的區域內，應設置有毒氣體檢測報警儀。 易燃易爆裝置內的保護管與儀表、檢測元件、電氣設備、接線箱、拉線盒連接時，或進入儀表盤、柜、箱時，應安裝防爆密封管件，并做好充填密封，密封管件與儀表箱、接線箱、拉線盒之間的距離不應超過 。密封管件與儀表、檢測元件、電氣設備之間可采用撓性管連接。 5 多晶硅生產作業安全 工藝控制及一般規定 企業應按照不同的多晶硅生產具體工藝及特點，制定工藝技術規程和安全操作規程（或作業指導書）。多晶硅生產應按照工藝技術規程、安全操作規程（或作業指導書）執行。 多晶硅生產的工藝技術指標和中間控制指標應仔細核對、嚴格控制，重要的控制指標應設管理控制點。更改指標應有相應的安全保障，并經技術負責人批準。 用于多晶硅生產原輔材料的成份應經化驗，外購三氯氫硅純度應＞ 12 98％， BP 雜質含量小于 ，并確認符合要求。未經檢驗或不合格的原材料，不應投入生產使用。 . 生產車間應根據生產需要規定原材料的存放時間、地點和最高允許存放量。車間生產所領取的原材料數量不應超過當班用量，剩余的要及時退回倉庫。相禁忌的原材料不應放在同一區域，應劃定區域分類隔開或分離貯存。作業區的生產物料、產品、半產品的堆放，應用黃色和白色標記在地面上標出存放地點，堆放整齊，保證通道暢通。 加熱設備、提純設備、還原設備、氫化反應設備、 HCL 與 TCS 合成設備、制氫設備、干法回收設備、輔助設備（過濾機、離心機、各類泵、空氣壓縮機、通風機、電動葫蘆）等生產設備的操作應按照安全操作規程進行。 一般情況下，系統開停車基本要求 系統開車前 應先 檢查并確認水 ,電 ,汽 (氣 )必須符合開車要求 ,各種原料 ,材料 ,輔助材料的供應必須齊備 ,合格 .投料前必須進行分析驗證 .。 檢查閥門開閉狀態及盲板抽加情況 ,保證裝置流程暢通 ,各種機電設備及電氣儀表等均應處在完好狀態 。 保溫 ,保壓及洗凈的設備要符合開車要求 ,必要時應重新置換 ,清洗 和分析 ,使之合格 . 必要時停止一切檢修作業 ,無關人員不準進入現場 . 各種條件具備后開車 ,開車過程中要加強 有關崗位之間的聯絡 ,嚴格按開車方案中的步驟進行 ,嚴格遵守升降溫 ,升降壓和加減負荷的幅度 (速率 )要求 . 開車過程中要嚴密注意工藝的變化和設備運行的情況 ,加強與有關崗位和部門的聯系 ,發現異常現象應及時處理 ,情況緊急時應中止開車 ,嚴禁強行開車 . 必須編制停車方案 ,正常停車必須按停車方案中的步驟進行 .用于緊急處理的自動停車聯鎖裝置 ,不應用于正常停車 ,加強與有關崗位和部門的聯系 . 系統降壓 ,降溫必須按要求的幅度 (速率 )并按先高壓后低壓的順序進行 .凡需保壓 ,保溫的設備容器 )等 ,停車后要按時記錄壓力 ,溫度的變化 . 大型傳動設備的停車 ,必須先停主機 ,后停輔機 . 設備 (容器 )卸壓時 ,要注意易燃 ,易爆 ,易中毒等化學危險物品的排放和散發 ,防止造成事故 . 冬季停車后 ,要采取防凍保溫措施 ,注意低位 ,死角及水 ,蒸汽 ,管線 ,閥門 ,疏水器和保溫伴管的情況 ,防止凍壞 . 緊急處理 發現或發生緊急情況 ,必須先盡最大努力作出妥善處理 ,同時向有關方面報告 ,必要時 ,先處理后報告 . 工藝及機電設備等發生異常情況時 ,應 迅速采取措施 ,并通知有關崗位協調處理 ,必要時 ,按步驟緊急停車 . 發生停電 ,停水 ,停氣 (汽 )時 ,必須采取措施 ,防止系統超溫 ,超壓 ,跑料及機電設備的損壞 . 發生爆炸 ,著火 ,大量泄漏等事故時 ,應首先切斷氣 (物料 )源 ,同時盡速通知相關崗位并向上級報告 . 生產作業區應禁止吸煙；易燃易爆場所作業人員不應穿著能產生靜 13 電火花的化纖織物工作服和帶裸露鐵釘的鞋；不應使用鐵質工具及撞擊會產生火花的其它工具；不應使用打火機、手機、相機等發火和電子設備。 應及時清理廢物、油跡、 漆垢等，保持作業崗位環境的整潔衛生。 三氯氫硅提純 提純塔開車 應按照所開提純塔的工藝操作規程（或作業指導書）的要求操作。 提純塔進料前要確保所有相關設備、閥門、管道均已打壓檢漏吹掃合格 （檢漏合格要求：將相關設備、管道、閥門升壓至設計壓力，用肥皂水檢測，無泄漏；吹掃合格要求：使用白布在泄壓口檢測，無油、無水、無銹） ，各種儀表監控裝置經校驗合格并正常投用。 該提純塔以及相關所有設備管道用高純氮氣置換合格 （經檢測后氮中氧小于 5000PPm，露點小于 45℃） 應按照工藝技術操作規程的要求逐步開車，注意進料流量， 升溫升壓速度， 防止因為升壓過快引起塔失去控制，發生事故。在開塔過程中注意，冷熱源的投入必須遵循“先冷后熱”的原則，先通冷卻介質，再通加熱介質，在通入熱源之間要先進料，要避免加熱設備“干燒”的狀況。 提純塔運行控制 提純塔運行中要嚴格按照工藝操作參數控制，不應超過所有參數的控制范圍。提純塔 系 運行期間，操作者要對其進行精心的調整，在保證物料進出平衡的前提下， 觀察塔系各參數運行是否正常，并及時觀察各參數的變化趨勢，按照各塔的操作要求進行少量多次的微調，以保證塔系正常穩定的運行。 提純塔運行過程中要定時對提純塔相關各種物料進行檢測（成分、雜質等），確保各項產品指標符合要求。 提純塔運行中如果出現泄漏時應立即采取停塔處理措施，停止加熱，停止進出料，打開尾氣閥門泄壓，通入高純氮氣，防止因為泄漏出現著火爆炸等次生事故。如果條件允許，可使用帶壓堵漏工具對泄漏部位進行封堵，否則待壓力降低后將塔內物料倒出，高純氮氣置換，合格 （無明顯氯硅烷 料味） 后再對泄漏部位進行處理。 提純塔相關換熱器泄漏：提純塔運行中要精心觀察各參數運行是否異常，同時應該對輔助系統各種介質進行檢測，以確保在換熱器泄漏時能夠及時發現，如發現換熱器泄漏時應立即停塔進行處理。 提純塔停車 提純塔停車時應遵循“先熱后冷”的原則，當提純塔所有進出料停止，與其他系統斷開后，先停止熱源，為防止超溫超壓冷卻水繼續投入，待塔內溫度降下來、塔壓維持穩定可以關閉冷卻循環水，停塔過程中應隨時監視塔內壓力和溫度情況。 提純塔停塔后 依據實際情況進行后續處理，如需要檢修，則應把塔內所有物料倒出，高純氮氣置換合格后進行處理；如停塔后物料沒有倒出，則要繼續監視塔內各個參數，保證塔內各參數正常（確保塔內有一定壓力 （表壓大于 20KPa） ，必要時可充高純氮氣補壓）。 還原尾氣干法回收 還原尾氣干法回收系統開車 應按照還原尾氣干法回收系統的工藝操作規程（或作業指導書）的要求操作。干法回收系統進料前要確保所有相關設備、閥門、管道均已打壓檢 14 漏吹掃合格，各種儀表監控裝置經校驗合格并正常投用。