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晶硅太陽能電池常規工藝簡介(編輯修改稿)

2026-03-13 12:36 本頁面

　

【文章內容簡介】品表面形成固態薄膜。 PECVD方法的特點是等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發和電離過程，生成活性很高的各種化學基團，能顯著降低薄膜沉積的溫度范圍。反應方程式：PECVD等離子產生方式：直接式 — 基片位于一個電極上，直接接觸等離子體（低頻放電 10500kHz 或高頻 1 56MHz),在射頻激發的等離子的腔體內，高速運動的電子激發反應氣體 NH3和 SiH4產生等離子，沉積在硅片表面。間接式 — 基片不接觸激發電極（如 45GHz微波激發等離子 ),在微波激發等離子的設備里，等離子產生在反應腔之外，然后由石英管導入反應腔中。在這種設備里微波只激發 NH3，而 SiH4直接進入反應腔。間接 PECVD的沉積速率比直接的要高很多，這對大規模生產尤其重要。直接式 PECVD 間接式 PECVD等離子的兩種產生方式比較PECVD設備結構平板式 PECVD設備平板式 PECVD工藝過程管式 PECVD鍍膜設備管式 PECVD工藝控制過程boatheating cassetteplasma generatorCESARloadingmachinegas supplyN2SiH4NH3vacuum pumpscrubberExhaust管式 PECVD的基本工藝步驟PECVD檢測內容? 膜厚、折射率（橢偏儀）? 反射率（ D8反射儀）? 外觀均勻性、顏色（目測）制備電極? 制備電極的目的：? 收集電流? 引出電流? 將單體電池焊接成串制備電極的方法? 絲網印刷法：在網版上制作特定電極圖形，通過刮刀的運動將網版上的金屬漿料擠出網版，落在網版下面的硅片上，形成電極圖形。絲網印刷方法制作電極圖形成本低，產量高，是目前規模化生產中普遍采用的一種制備電極的方法。? 刻槽埋柵法：用激光或者機械的方法在電池表面劃出電極槽，在電極槽內重摻之后將不同的金屬按照不同的順序叫住的電極槽內，這種方法制作成本高，但電池效率高，一般用于高效電池的制作。? 噴墨打印法：使用氣體帶動金屬漿料從特制的噴嘴噴出，沉積到電池表面形成電極，這種方法制備的電極具有較好的高寬比，但目前設備尚不成熟，規模化應用較少。絲網印刷的原理印刷基材（硅片）刮刀擠壓印刷油墨，并借助刮刀面和網版網結的阻攔，使印刷油墨呈現出逆向滾動狀態，當油墨行至網版未被乳膠膜阻擋的電極圖形區時即向下穿透網孔接觸印刷基材 (硅片 )，刮刀繼續往前推移是，則因網版張力及離版間距，使油墨脫離網版，附著于印刷基材上，達到印刷的目的。網框印刷網粘著劑刮刀印墨版膜印刷基材絲網印刷流程P型襯底背電極印刷烘干背電場印刷烘干正電極印刷烘干 +燒結測試分選電池的正背面電極圖形柵線（銀漿）背電場：鋁漿背電極：鋁漿或銀鋁漿電池片正面電池片反面絲網印刷的設備 (Baccini)絲網印刷檢測內容? 副柵線寬度、高度（晶相顯微鏡）? 印刷濕重（電子天平）? 印刷圖形完整性（目測）燒結的目的? 燃盡金屬漿料中的有機成分；? 燒穿絕緣的氮化硅膜，使漿料中的金屬和硅熔融合金，形成歐姆接觸；? 對經過等離子轟擊的硅片退火，激活摻雜的原子，消除晶格損傷；? 激活氮化硅膜 ( )中的氫離子，使之鈍化硅片內部晶格缺陷。燒結的原理v 燒結可看作是原子從系統中不穩定的高能位置遷移至自由能最低位置的過程。漿料中的固體顆粒系統是高度分散的粉末系統，具有很高的表面自由能。因為系統總是力求達到最低的表面自由能狀態，所以在燒結過程中，粉末系統總的表面自由能必然要降低，這就是燒結的動力學原理。v 固體顆粒具有很大的比表面積，具有極不規則的復雜表面狀態以及在顆粒的制造、細化處理等加工

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