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2026-04-03 00:36本頁面

　　

【正文】要調節風量處，應設置密閉調節閥。送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置調節閥。潔凈室內的排風系統，應設置調節閥、止回閥或密閉閥。總風管穿過樓板和風管穿過防火墻處，必須設置防火閥。凈化空氣調節系統的風管和調節閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環境條件確定。潔凈室內排風系統的風管、調節閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節風量的支管上，應設置風量測定孔。排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管，其他風管以及風管的保溫和游泳場材料及其粘結劑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。給水和排水一般規定潔凈廠房內的給水排水干管，應敷設在技術夾層、技術豎井、　地溝管槽內或地下埋設。潔凈室內應少敷設管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。潔凈廠房內的管道外表面，如可能結露，應采取防結露措施。管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應設套管。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應為非燃燒體管材。給水　潔凈廠房內的給水系統設計，應根據生產、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環或重復利用的給水系統。高純水系統應設置循環管道。　管材的選擇，應符合下列要求：　　　　一、純水管、高純水管應采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管；　　　　二、冷卻循環給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；　　　　三、生產用水設備與管道的連接宜采用優質軟管；　　　　四、管道的配件應采用相應的材料。　　潔凈廠房內可設置開水供應設施；盥洗室內的盥洗盆宜供應熱水；軟化水、純水管適應預留清洗口；純水終端凈化裝置應放在靠近用水點處。　潔凈廠房的周圍，應設置灑水設施。排水潔凈廠房的排水系統設計，應根據生產排出的廢水性質、濃度、水量等特點確定排水系統，并應有廢水處理或綜合利用設施。潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，并應有防止水封被破壞的設施。　　10，000、100，000級潔凈室內允許穿過排水豎管，但在豎管上不得設置檢查口。　　潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清掃的衛生器具、管材、管架及其附件。消防給水和滅火設備潔凈廠房應根據生產的火災危險性分類和建筑物耐火等級等因素確定消防設施。　潔凈廠房室內消火栓給水系統的消防用水量不應小于10升／秒，每股水量不應少于5升／秒；　　潔凈廠房的消火栓設置，應符合下列要求：　　　　一、消火栓的水槍充實水柱，不應小于10米。　　　　二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水槍噴嘴口徑不應小于　　19毫米。　　潔凈室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設置鹵代烷或二氧化碳等滅火設施和消防給水系統。對設有貴重設備儀器或生產的火災危險性較大的潔凈室，以及當火災發生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道等部位，應同時設置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統。2 氣體管道一般規定潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：　　　　一、潔凈室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。　　　　二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區空氣凈化和全　　室空氣凈化相結合的形式。　　層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調節系統均宜分開設置。　潔凈室內的計算溫、溫度、應符合下列規定：　　　　一、滿足生產工藝要求　　　　二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。　　潔凈室內應保證一定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的最大值；　　　　一、亂流潔凈室總送風量的10%～30%，層流潔凈室總送風量的2～4%。　　　　二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。　　　　三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。　　潔凈區的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內集中式真空吸塵系統的管道，應暗敷。　　在凈化空氣調節系統設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規定。管道材料和閥門工業氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。引入潔凈的支管宜明敷。　　高純氣體管道設計，應符合下列要求：　　　　一、根據計算確定管徑。　　　　二、管道系統應盡量短。　　　　三、不宜設預留口。　　　　四、不應出現盲管等不易吹除的部位。　　　　五、干管不支管上應設置吹除口。　　　　六、在管系統上應設置吹除口。　　穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。　　氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區內。　　氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應設在靠近用氣點處。　　氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。管道連接管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。　　管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。　　高純性氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。安全技術　業氣體管道設計的安全技術，應符合下列規定；　　　　一、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器。　　　　二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。　　　　三、各種氣體管道應設明顯標志。　　潔凈室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。　　各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內。2 電氣配電符合《低壓配電設計規范GB50054－95》和《外殼防護等級分類》（GB4208—84）要求，采用三相5線電纜，電氣配管必須隨主體施工作好預留預埋工作。，導線必須按相分色，不得混用A相用黃色，B相用綠色，C相用紅色，工作零線用蘭色，保護接地線用黃綠雙色，電纜的金屬護層，電纜支架、橋架必須良好接地。2盤柜內主要控制器具必須有調試、試驗報告。2盤柜內應注明控制回路編號，系統圖．對SMT AI 等A類設備許配置穩壓設備和UPS電源。消防用電設備單獨供電。電源進線設置切斷電源。配電設備盡可能采用安裝。照明采用熒光燈照明，燈具暗裝需采用防塵處理；工作面的平均照度為200～300LX,走道、衛生間、休息室等和備用、應急照度參照《工業企業照明設計標準》（GB50034）通信配置通訊設備和報警設施。自動控制潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差、報警、供電、抽風等采用自動化控制。靜電防護及接地地面選用長效防靜電地面，墻面和天發裝修采用防靜電處理，滿足《電子產品和制造防靜電系統測試方法》（SJ/T 10694）要求。

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