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2026-04-25 12:08本頁面

　　

【正文】刻蝕： SF6 刻蝕 (60s， ?80V)； C4F8 側壁鈍化 (30s， 0V)。在兩種氣體相混的間隙時間里，等離子體熄滅 Bosch Si 刻蝕工藝 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 Si 的刻蝕與側壁鈍化的機制刻蝕：在等離子體中電子的作用下， SF6 被分解為 F 原子和 SF5+ 離子： F 原子與 Si 發生如下的刻蝕反應：鈍化：另一方面，在等離子體中， C4F8 則被分解為 CF2 等化學基團： CF2 活性基團在被固相表面吸附以后，則進一步形成聚四氟乙烯類的聚合物薄膜：為了優化刻蝕與鈍化兩者的效率，可將刻蝕與鈍化兩者從時間上分割開：一段時間內進行刻蝕，另外一段時間內進行側壁鈍化改進的側壁鈍化刻蝕工藝 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 功率和襯底溫度對 PPFC薄膜沉積速率的影響溫度 : 13?C RF 功率 : 600W 刻蝕后，以 C4F8 氣體為原料，對模具施加 PPFC 涂層 PPFC 涂層前與涂層后，接觸角的測量結果 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 未涂層 PPCF 涂層 PPFC 涂層處理可顯著提高 Si 表面的接觸角 —— 賦予其憎水性，使脫模過程更為容易 ? 鋪展開的液珠 ? 未鋪展開的液珠利用 UV光固化技術，可制備塑料微型部件 Si 模具用于微型塑料部件的制造 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 氟化碳膜的作用是它可提高脫模質量 ? 模腔深 45?m，側壁傾角 ~85?，后者使脫模更為容易 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 刻蝕得到的微型 Si 模具微型模腔 ? ?微型模腔微型塑料部件很好地重現了微型模具的外形尺寸由 Si 模具制造的微型塑料部件及其外形圖 . Jo et al. / Surface amp。 Coatings Technology 188–454 –189 (2022) 452–458 ?制造缺陷 ?塑料件 ?Si 模具第八講小結 ? 在需要對薄膜材料進行圖形化時，光刻技術是一個有力的技術手段。 ? 與薄膜材料的 PECVD方法相對應，等離子體刻蝕技術可被用于對薄膜材料進行表面刻蝕。 ? 發展中的等離子體刻蝕技術與化學溶劑刻蝕方法相比，可在更小的線寬尺度上，對材料進行各向異性的刻蝕。 ? 等離子體刻蝕的微觀機制可以被分為四類（或五類），它們的主要區別在于發揮作用的活性基團和它們的作用機制。 ? 反應離子刻蝕、高密度等離子體刻蝕兩種方法是目前半導體技術中各向異性刻蝕的主要手段。思考題 1. 對比等離子體光刻技術與 PECVD技術的異同點。 2. 討論濕法與干法半導體光刻技術的優點與缺點。 3. 說明：高密度等離子體光刻技術逐漸取代早期的反應離子刻蝕技術的原因。 4. 比較濺射、化學刻蝕、離子輔助刻蝕、側壁鈍化的離子輔助刻蝕等四種等離子體刻蝕機制的特點。 5. 嘗試解釋離子輔助刻蝕方法能夠獲得高的刻蝕速率的原因。 6. 討論等離子體刻蝕方法提供的刻蝕選擇性和刻蝕各向異性。 7. 討論：在使用 193nm或 13nm波長的紫外光源暴光的情況下，由光刻技術可以獲得的線寬。

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