alicat質(zhì)量和體積流量控制器操作手冊-資料下載頁

【導(dǎo)讀】請不要隨意拆卸，替換部件，或者執(zhí)行未經(jīng)認可的修正。這樣會使產(chǎn)品失去保修。用戶可維護部件，并且只能由廠家授權(quán)方維護或維修。不要在易爆，潮濕或腐蝕的環(huán)境下使用此產(chǎn)品。不要用于任何腐蝕性的氣體，例如：氨，丙烯，HCI，SO2，H2S，NO2，NO，硅烷，氯，升的應(yīng)用上，這樣會導(dǎo)致流量計達不到理想的精度。判斷你的流量計量程，確定工況流量是流量計滿量程的70%左右。和小流量的流量線路），因為那樣能造成差壓傳感器的損壞。徑的扭曲都會影響產(chǎn)品的控制性能。不要讓流量控制器的外殼置于任何液體中，因為本產(chǎn)品不具有防水的電氣外殼。確保質(zhì)量和體積流量計的標(biāo)定介質(zhì)與測量介質(zhì)一致。不可超過此壓力，否則測量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，并且還會給儀表造成損害。產(chǎn)品特別指定，在低壓使用時可能會減小耐壓極限。這樣會使閥門變得非常熱而永久損壞。所有ALICAT氣體流量控制器，進口和出口都是內(nèi)螺紋連接。注意：超過150PSIA在線壓力時，會導(dǎo)致固態(tài)差壓傳感器永久性的損壞。

　　

【正文】 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 31 在 25℃氣體黏度，比重和可壓縮性 氣體號碼 氣體縮寫 氣體全稱 粘度 0℃ PSIA 密度 0℃ PSIA 可壓縮性 0℃ PSIA 0 Air Air 1 Ar Argon 2 CH4 Methane 3 CO Carbon Monoxide 4 CO2 Carbon Dioxide 5 C2H6 Ethane 6 H2 Hydrogen 7 He Helium 8 N2 Nitrogen 9 N2O Nitrous Oxide 10 Ne Neon 11 O2 Oxygen 12 C3H8 Propane 13 nC4H10 normalButane 14 C2H2 Acetylene 15 C2H4 Ethylene 16 iC4H10 isoButane 17 Kr Krypton 18 Xe Xenon 19 SF6 Sulfur Hexafluoride 20 C25 75%Aegon/25%CO2 21 C10 90%Aegon/10%CO2 22 C8 92%Aegon/8%CO2 23 C2 98%Aegon/2%CO2 24 C75 75%CO2/25%Argon 25 A75 75%Argon/25%Helium 26 A25 75%Helium/25%Argon 27 A1025 90%Helium/%Argon/%CO2 (PraxairHelistar A1025) 28 Star29 90%Argon/8% CO2/2%Oxygen (PraxairStargon CS) 29 P5 90%Argon/5%Methane *in microposie(1 Poise=gram/(cm)(sec)) **Grams/Liter (NIST REFPROP 7database) 在 0℃氣體黏度，比重和可壓縮性 32 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍： ～ 050SCCM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清 零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 % 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應(yīng)時間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 （ ） 無 僅測量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無冷凝 測量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸 入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 1218VDC（ 420mA 輸出時為： 1530VDC） ** 供電電流 安裝位置敏感度 0% 預(yù)熱時間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。302 不銹鋼， Viton174。， RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍 ，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時，須同廠家聯(lián)系。 **使用 24V 時需指定 24V線圈 . ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連接 壓降 ** （ PSID） ～ 1SCCM ～ 1CCM ″ Hх ″ Wх ″ D 1032UNF * 2SCCM～ 50SCCM 2CCM～ 50CCM *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 **可選擇更低 的壓降，請聯(lián)系廠家。 尺寸圖請參考第 34 頁 33 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 50SCCM ～ 020SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 % 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應(yīng)時間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 （ ） 無 僅測量 質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無冷凝 測量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 1218VDC（ 420mA 輸出時為： 1530VDC） ** 供電電流 安裝位置敏感度 0% 安裝后清零 預(yù)熱時間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。302 不銹鋼， Viton174。， RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時，須同廠家聯(lián)系。 **使用 24V 時需指定 24V線圈 . ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連 接 壓降 ** （ PSID） ＞ 50SCCM～ 500SCCM ＞ 50CCM～ 500CCM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 1SLPM 1LPM 5SLPM 5LPM 10SLPM 10LPM 20SLPM 20LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋 *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 **可選擇更低的壓降，請聯(lián)系廠家。 34 尺寸圖請參考第 35 頁 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能 指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 20 SLPM ～ 0250SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 % 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應(yīng)時間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 （ ） 無 僅測量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無冷凝 測量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 2430VDC 供電電流 最大 安裝位置敏感度 0% 安 裝后清零 預(yù)熱時間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。302 不銹鋼， Viton174。， RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時，須同廠家聯(lián)系。 ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器機械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連接 壓降 ** （ PSID） ＞ 20SLPM ＞ 20LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/4″ NPT 內(nèi)螺紋 100SLPM 100LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 250SLPM 250LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 1/2″ NPT 內(nèi)螺紋 *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 **可選擇更低的壓降，請聯(lián)系廠家。 尺寸圖請參考第？頁 35 Alicat 氣體質(zhì)量流量控制器、體積流量控制器性能指標(biāo) 量程范圍 ：＞ 250 SLPM ～ 01500SLPM 指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 體積流量控制器 描述 精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 高精度 177。 %讀數(shù)177。 %滿量程 清零后在校準(zhǔn)條件下 重復(fù)性 177。 % 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應(yīng)時間 100 毫秒（可調(diào)） 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) (STP) 25℃ amp。 （ ） 無 僅測量質(zhì)量流量用 溫度范圍 10～ 50 ℃ 零點漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 量程漂移 ％ 滿量程 /℃ /Atm 濕度范圍 0100% 無冷凝 測量流量范圍 ％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入 /輸出（數(shù)字） 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS232 串口 輸入 /輸 出（模擬） 質(zhì)量流量 體積流量 05VDC 可選輸入 /輸出 第二路模擬 質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度 體積流量 05VDC,010VDC 或 420mA 電氣連接 8 針 小型圓插頭 供電電壓 2430VDC 供電電流 最大 安裝位置敏感度 0% 安裝后清零 預(yù)熱時間 ＜ 1 秒 接液材質(zhì) 303amp。302 不銹鋼， Viton174。， RTV 硅樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅， 410 不銹鋼 *對于體積流量控制器，若入口壓力＞ 10PSIG時，須同廠家聯(lián)系。 ALICAT氣體質(zhì)量流量控 制器、體積流量控制器機械指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器 滿量程范圍 體積流量控制器 滿量程范圍 尺寸 過程連接 壓降 ** （ PSID） ＞ 250SLPM ＞ 250LPM ″ Hх ″ Wх ″ D 3/4″ NPT 內(nèi)螺紋 1000SLPM 1000LPM 1500SLPM 1500LPM *可選 1/8″ NPT 內(nèi)螺紋。 **可選擇更低的壓降，請聯(lián)系廠家。 尺寸圖請參考第 36 頁