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行業(yè)研究報(bào)告-rfmems國內(nèi)外現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(編輯修改稿)

2025-08-26 13:42 本頁面

　

【文章內(nèi)容簡介】司、 MEMTronics 公司（從 Raython公司獨(dú)立出來）生產(chǎn)的基于開關(guān)的產(chǎn)品大量應(yīng)用于 DARPA 和 NASA 主導(dǎo)的軍事用途設(shè)備和系統(tǒng)中，日本 Omron公司、美國 WiSpry公司（被瑞聲科技收購）生產(chǎn)的開關(guān)系列產(chǎn)品應(yīng)用于民用領(lǐng)域，包括智能手機(jī)、導(dǎo)航終端、物聯(lián)網(wǎng)等。目前商業(yè)化的 MEMS 開關(guān)產(chǎn)品比較見表 2。表 2 商業(yè)化 RF MEMS 開關(guān)產(chǎn)品對比基于 RF MEMS 開關(guān)基本結(jié)構(gòu)單元可以構(gòu)建移相器、可調(diào)濾波器、可變波束天線等。圖 5為各類 RF MEMS 開關(guān)及衍生器件。圖 5 各類 RF MEMS 開關(guān)及衍生器件 RF MEMS 開關(guān)按照驅(qū)動方式不同，可以分為靜電驅(qū)動開關(guān)、電磁驅(qū)動開關(guān)、熱驅(qū)動開關(guān)、壓電驅(qū)動開關(guān)等；按照電路結(jié)構(gòu)，可以分為串聯(lián)開關(guān)和并聯(lián)開關(guān)；按照接觸方式不同，可以分為接觸式開關(guān)和電容式開關(guān)等。目前，研究較為深入、已經(jīng)產(chǎn)品化的 RF MEMS 開關(guān)是靜電驅(qū)動的串聯(lián)接觸式和并聯(lián)電容式開關(guān)。 RF MEMS 開關(guān)的主要性能參數(shù)包括驅(qū)動電壓、插入損耗、隔離度等，理想的開關(guān)具有極低驅(qū)動電壓、零插入損耗、無限大的隔離度。 RF MEMS 開關(guān)及衍生器件和子系統(tǒng)的發(fā)展趨勢：更高性能指標(biāo)（高頻帶、低插損、高隔離度、低驅(qū)動電壓）；高可靠性、長壽命；更簡單的微納工藝、更低的成本；更高靈活性和集成度。濾波器濾波器是構(gòu)建射頻微波子系統(tǒng)最重要、用量最大的器件之一，也是研究最廣泛、成熟度最高的器件。 RF MEMS 濾波器有微帶線濾波器、帶狀線濾波器、硅基腔體濾波器、熔融石英 SIW濾波器、 SAW濾波器、 BAW和 FBAR濾波器等，如圖 6所示。圖 6 各類 RF MEMS 濾波器針對高性能指標(biāo)、高可靠性、高功率容量的軍工市場需求， RF MEMS 濾波器主要有： ① 微帶線濾波器； ② 硅基 SIW和腔體濾波器，國內(nèi)中電 13所和 55所研制的該類型產(chǎn)品已達(dá)到實(shí)用化程度； ③ MEMTronics公司的高性能熔融石英 SIW濾波器，主要供應(yīng)軍工高端市場； ④ Avago公司 FBAR和 TriQuint公司 BAW濾波器，主要針對超小體積、高性能的應(yīng)用領(lǐng)域，如智能手機(jī)、消費(fèi)電子無線終端、微納衛(wèi)星等。民用市場的射頻微波濾波器主要以 SAW、 BAW濾波器以及近年來的 FBAR濾波器為主， SAW濾波器主要供應(yīng)商有日本 EPCOS、村田制作所、富士通MediaDevice、歐姆龍、 MUTATA 公司及國內(nèi)的中電 55所、中電 26所等。 SAW濾波器主要針對 2GHz以下的應(yīng)用領(lǐng)域，如早期的 2G通信等。 FBAR濾波器頻帶可以達(dá)到 20GHz，體積小到 1mm x 1mm x ，近年來受到 RF MEMS 業(yè)界極大關(guān)注，其主要供應(yīng)商有 Avago公司和 TriQuint公司。其中， Avago公司的 FBAR濾波器和雙工器在 20xx年度銷售額近 4億美元，相比 20xx年度增長 23%；而 TriQuint公司的 RF MEMS 產(chǎn)品在 20xx年度銷售額近（搶占了 Avago的市場份額），相比 20xx年度更是增長 141%。國內(nèi)中電 13所、 55所也對 FBAR濾波器展開研究，已研制出原理芯片，天津大學(xué)在此領(lǐng)域也有較好研究。

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