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多晶鑄錠生產(chǎn)工藝文件(編輯修改稿)

2025-11-30 16:31 本頁(yè)面

　

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 5177。 2） LPM （爐體下腔和下部） F8：（ 9177。 2） LPM （機(jī)械泵和總閥）開(kāi)始鑄錠將裝有硅料的坩堝放到定向凝固塊上：注意：坩堝的位臵要處于定向凝固塊塊的正中央，距定向凝固塊塊周?chē)木嚯x 左右，誤差不要超過(guò) 2mm（特殊交代除外）。對(duì)爐子進(jìn)行手動(dòng)抽真空檢漏。確定絕熱籠的位臵，其位臵是以腔體下邊沿為零點(diǎn)。鑄錠開(kāi)始前，校準(zhǔn) 隔熱籠的位臵。一般在未關(guān)機(jī)的情況下，絕熱籠的位臵不需要校準(zhǔn)。 5 調(diào)入程序：首先從 “ 模式 ” 下選擇所需工藝配方，點(diǎn)擊“確定工藝”，接著點(diǎn)擊“執(zhí)行 /下載修改工藝”，然后點(diǎn)擊 “自動(dòng)運(yùn)行”，此時(shí)，系統(tǒng)進(jìn)入“初始檢查窗口”，則程序開(kāi)始自動(dòng)運(yùn)行，進(jìn)入自動(dòng)運(yùn)行階段。如果是手動(dòng)模式下抽真空，應(yīng)首先確認(rèn)真空模式，然后用鼠標(biāo)點(diǎn)擊機(jī)械泵開(kāi)關(guān)，此時(shí)機(jī)械泵開(kāi)啟。當(dāng)壓強(qiáng)降到 10mbar 以下，羅茨泵自動(dòng)開(kāi)啟，將壓強(qiáng)降到（這個(gè)過(guò)程的時(shí)間大約 1 小時(shí)）。當(dāng)壓強(qiáng)降到后，關(guān)掉總閥 V1，在前 5分鐘，壓強(qiáng)增加值小于，并記錄隨后 4 分鐘增大的壓強(qiáng)變化量。如果檢查漏氣，則要排查漏氣孔。鑄錠整個(gè)過(guò)程所需時(shí)間大約為 50 小時(shí) ，其間，將會(huì)出現(xiàn) 3 次正常報(bào)警：（ 1）中央熔化報(bào)警：此時(shí)需要確認(rèn)熔體中央是否完全熔化。具體操作為：點(diǎn) 擊“ 報(bào)警消聲 ”，再點(diǎn)擊“ 繼續(xù)熔化 ”。然后去上面檢查是否徹底熔化。報(bào)警會(huì)在 4 分鐘后再次響起，處理方法同上。當(dāng)報(bào)警響過(guò) 3 次后，再次報(bào)警，點(diǎn)擊“ 進(jìn)入下一步 ”，同時(shí)記錄此次的具體時(shí)間。中央熔化確認(rèn)報(bào)警至少 3 次以上，如果中央沒(méi)有完全熔化，而此時(shí)“ 熔化 ”將要結(jié)束，此時(shí)點(diǎn)擊“ 保持 ”保持這一狀態(tài) 直至完全熔化。（ 2）中央凝固報(bào)警：及時(shí)觀察中央是否凝固，如果能看到液體，則點(diǎn)擊“ 取消 ”，繼續(xù)進(jìn)行凝固，這個(gè)報(bào)警要響 3 次以上才能通過(guò)完成。（ 3）邊緣凝固報(bào)警：一般將報(bào)警取消，點(diǎn)擊“ 延時(shí) ” ，使其繼續(xù)走完，確保邊緣完全凝固。鑄錠過(guò)程中，隔熱籠只在“ 長(zhǎng)晶 ”和“ 冷卻 ”時(shí)會(huì) 升起，其余的步驟

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