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多晶鑄錠生產工藝文件-資料下載頁

2025-10-16 16:31本頁面

【導讀】的Si3N4粉起到一個隔離雜質和防止粘堝的作用。坩堝燒結：此過程是為了使噴涂在坩堝內表面的Si3N4粉牢固附著在坩堝上。生產部負責鑄錠的整個過程。用壓縮空氣和去離子水清潔坩堝的內表面。壁30cm左右，只噴涂坩堝底部和側壁3/4的地方，要均勻不要使液體凝聚。將坩堝放在燒結爐中進行烘烤。保溫2∽3小時，然后等坩堝冷卻后待用。將坩堝放在石墨板上，并一起放在磅秤上稱量。坩堝處于石墨板的中央，距石墨板周圍左右，誤差不得超過2mm。啟動設備前，檢查水、電、氣。進氣壓力范圍為±。確認電控柜正常供電。分鐘，壓強增加值小于，并記錄隨后4分鐘增大的壓強變化量。報警會在4分鐘后再次。坩堝會自然裂開，不能直接接觸，以免燙傷。潔凈服，防止人體的產物掉到或擦到坩堝上，同時防止粉塵吸入肺部。

　　

【正文】 0℃，然后用 6 小時線性升溫到 1000℃，在 1000℃恒溫 3∽ 4 小時，然后等坩堝自然冷卻后待用。燒結后如發現起皮，要將涂層全部刮去，用白潔布處理表面后，重新噴涂。 3 裝料清潔液 8 裝料時要保證潔凈度，盡量防止灰塵落入，人員應穿潔凈服。保護涂層裝料是要小心、輕放，防止破壞 Si3N4 涂層。正確擺放裝塊狀料時，最下層擺放要疏松，防止膨脹過程中坩堝脹裂。裝料到一半時，按照計算出的量加入高硼硅摻雜：摻雜劑使用前要酸洗表面并干燥。酸洗可先用 HF:HNO3的體積比 1:4 的溶液稍微拋光，然后用去離子水沖洗干凈并干燥，化學試劑推薦使用電子級純度，如用分析純，一定要用去離子水多次沖洗。上料整個裝料和上料過程中，要保證坩堝處于石墨板的中央，石墨板要處于定向凝固塊中央，誤差都不可以超過 5mm，建議誤差不超過 2mm。 4 鑄錠工藝鑄錠工藝分為五個主要階段加熱隔熱籠下降到最低，真空狀態下讓硅料升溫排出石墨件和硅料吸附的水汽和其它氣體。該過程為功率控制模式，加熱器按照設定功率加熱。熔化加熱到 1175℃ 時通入保護氣體 — 氬氣，進入熔化步驟，迅速升溫到熔化點以上，熔化開始。從熔化開始進入溫度控制模式，加熱器按照 TC1 的設定溫度反饋控制加熱。完全熔化后，由 TC2 或功率斜率微分觸發熔化完成報警。長晶隔熱籠開始提升，定向凝固塊開始把熱量輻射到下爐壁，形成溫度梯度，定向凝固開始。中央結晶完成由光學高溫計觸發，邊沿結晶完成由功率斜率 9 觸發。退火完全凝固后，隔熱籠重新下降，使整個硅錠達到相同溫度（ 1250—1300℃），高溫退火減少位錯和應力。冷卻加熱器停止工作，隔熱籠緩慢升起， TC2 冷卻到 300℃時整個過程結束。可以開爐取錠。具體每個階段的詳細步驟設定和時間，按 48 所提供的 240kg 和 270kg錠標準工藝執行。

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